晶圆金属化/晶圆背金
薄膜沉积解决方案
●基材:玻璃/硅/碳化硅/氮化镓/PI
●晶圆尺寸: 4 inch/6 inch/8 inch/12 inch,最大 600mm
●沉积方式: 电子束蒸发镀膜/磁控溅射镀膜/原子层沉积/离子束溅射/PECVD/LPCVD
●可沉积材料:（部分材料不支持12寸）
金属材料:Au/Ag/Cu/Al/Cr/Ti/Ni/Pt/Mo/Al
非金属材料：Sio2/ITO/TiO2/HfO2/ZrO2/Ta2O3/ZnO/Ga2O3/
NIO/CeO/Al2O3/ZnO/Ta2O5/Ti3O5/MgF2/SiN/
Alpha-Si/AlN
光学镀膜：可见光波段及近红外波段镀膜，窄带，
长短波通
●应用: MEMS/IGBT/ARVR
●优点：多种沉积方式，多种薄膜材料满足您的多样化的需求
●膜厚均匀性：5%/3%/1.5%
另外：提供对标肖特的带TiO2涂层高折射率玻璃晶圆，可以采用电子束蒸发镀膜和原子层沉积镀膜两种工艺进行膜层沉积，可以3%的膜厚均匀性，同时针对AR行业纳米压印衍射聚合物混合光波导，采用原子层镀膜技术，最低可以实现75度的TiO2复杂结构薄膜保形均匀沉积，最大限度保证衍射光波导的形貌和折射率稳定。
基片材质：硅晶圆
膜层：Ti+Ni+Au
磁控溅射镀铝
基片材质：硅晶圆
膜层：Cr+Al
基片材质：硅晶圆
膜层：SiO2+Si3N4
上海陶藤电子科技有限公司
Auxcera（上海陶藤电子科技有限公司）创建于2022年，公司位于上海市宝山区，在中山，深圳设有研发中心，占地1000平方米，现有员工50余人。
公司创始团队来自国内顶尖高校，科研院所及海外知名镀膜企业，其中光学薄膜博士2名，我们专注于 半导体和光学薄膜工艺的开发，依托多类型先进的镀膜设备（Vecco Spectra/离子束溅射镀膜,北方华创 B630/真空蒸发镀膜,Ulvac/连续式磁控溅射镀膜,Optorun OWLS磁控溅射镀膜，Beneq/原子层沉积），先 进的检测设备（SEM,AFM，四探针，椭偏仪，Agilent Cary 7000,Zygo MST干涉仪），我们为半导体，消 费电子，AR/VR，仪器，激光雷达等领域提供可靠的，性能卓越的镀膜服务
