干涉仪
品牌：ZYGO
型号：Verifire MST
功能：主要用于精密测量各种平面和球面的反射面和光学系统的表面面形、光学系统的传输波前、棱镜等的楔角测试以及材料均匀性测试与分析。使用氦氖激光（633nm），采用斐索型移相式，在线测量测量光束直径为52mm(6")。标准镜精度为1/20波长，CCD分辨率可达1000*1000，RMS简单重复<0.06nm。
面型是光学镜片非常重要的参数，通过使用Zygo MST 12干涉仪，可实现对各种尺寸镜片表面面型等参数的测量，用于对薄膜面型、镜片镀膜前后面型变化等特性进行分析。 通过对材料与工艺的合理利用，可以实现镀膜前后面型变化较小，保证光学元器件面型要求。
