轮廓仪
品牌：BRUKER
型号：Contour GTK
功能：采用非接触式表面测量技术测量表面粗糙度，提供了超大视野内埃级至毫米级垂直范围计量；垂直方向分辨率优于0.01nm ，Z方向扫描范围为0.1nm至10mm，RMS重复性为0.01nm
原子力显微镜
品牌:BRUKER
型号：Dimension EDGE
功能：布鲁克原子力显微镜Dimension Edge利用DimensionIcon®系统，闭环定位噪声水平降低到单个化学键的长度范围；
垂直测量范围0-10mm；
垂直分辨率＜0.1nm；
RMS测量重复性≤0.01nm
镜片的表面信息对膜面分析有着重要作用，采用非接触式轮廓仪和原子力显微镜可以满足对镜片表面信息的测量。可实现对表面粗糙度、表面异常缺陷、小尺寸台阶等参数的测量。
