数码显微系统
品牌：Keyence
型号：VHX-7000
功能：实现了相当于光学显微镜 20 倍以上的景深。镜头、相机、成像软件均由基恩士自行设计，实现了景深与亮度平衡下的观察。可以轻松、直观地进行观测。能进行平面测量、3D 测量。此外，粗糙度测量、清洁度测量、结晶粒度测量等也只需这一台设备就可以完成。
镜片薄膜的表面质量是至关重要的一项参数，仅仅依赖人工判断表面质量可能会有误判与遗漏的情况出现。利用VHX-7000，可以对杂质点进行精确测量，对未知的异常区域，通过显微放大可以有助于不良分析。同时VHX-7000还具有全表面拍摄后图像拼接的功能，并可以对拼接后的整张图片进行洁净度分析，有效的提供不同大小的杂质点的数量，便于对薄膜表面质量进行把控。
