半导体磁控溅射镀膜设备
品牌：北方华创-NAURA
型号：Polaris B630
功能： Polaris系列PVD系统主要由大气平台，真空传输平台，去气腔室（Degas），预清洁腔室和工艺腔室组成，设备采用Cluster Tool结构，可配置多个工艺腔室、预清洗腔室和去气腔室，适合封装领域薄膜制备大规模生产。Polaris系列PVD为全自动大产能设备，具有反应腔自动开闭盖、晶圆自动传输、工艺去气、晶圆表面预清洁、薄膜沉积完全自动化等特点。
上海陶藤电子科技有限公司
Auxcera（上海陶藤电子科技有限公司）创建于2022年，公司位于上海市宝山区，在中山，深圳设有研发中心，占地1000平方米，现有员工50余人。
公司创始团队来自国内顶尖高校，科研院所及海外知名镀膜企业，其中光学薄膜博士2名，我们专注于 半导体和光学薄膜工艺的开发，依托多类型先进的镀膜设备（Vecco Spectra/离子束溅射镀膜,北方华创 B630/真空蒸发镀膜,Ulvac/连续式磁控溅射镀膜,Optorun OWLS磁控溅射镀膜，Beneq/原子层沉积），先 进的检测设备（SEM,AFM，四探针，椭偏仪，Agilent Cary 7000,Zygo MST干涉仪），我们为半导体，消 费电子，AR/VR，仪器，激光雷达等领域提供可靠的，性能卓越的镀膜服务
